半導體前道設備零部件的種類眾多，而且有很多是特定領域的專用品，根本不可能完全統(tǒng)計清楚。所以我暫時只能把一部分比較常規(guī)的類型先羅列出來，供大家參考。

半導體前道設備部件分類包括：光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、液路系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、運動系統(tǒng)、功能部件、材料部件、電器電源系統(tǒng)、泵類等，具體如下：

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【工業(yè)陶瓷件加工定制廠家】認準諾一精密陶瓷，可提供氧化鋁陶瓷、碳化硅陶瓷、氮化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、陶瓷計量泵、陶瓷柱塞泵、陶瓷吸盤、陶瓷結構件、工業(yè)陶瓷件、半導體陶瓷備件、半導體陶瓷材料等精密陶瓷研發(fā)生產加工定制，可按需加工各類精密陶瓷板，棒，閥，管，環(huán)，塊，片，針，軸，螺桿，噴嘴，托盤，吸盤，柱塞，微孔陶瓷等不同形狀、工藝的精密陶瓷制品，歡迎您的咨詢。