主辦單位：

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會

無錫國家高新技術開發(fā)區(qū)管理委員會

無錫市新吳區(qū)人民政府

承辦單位：

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備分會

協(xié)辦單位：

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司

盛美半導體設備（上海）股份有限公司

江蘇微導納米科技股份有限公司

上海熙儋宸旭半導體科技有限公司