2018年，美國18歲高中生Sam Zeloof在自家車庫中造出了第一個光刻“自制”（homemade）微芯片。自制的意思是，在他車庫里包括光刻機在內(nèi)的幾乎所有設(shè)備，都是Zeloof網(wǎng)購和親手改良的。而他的所謂光刻機其實就只是把一個投影儀改裝后安裝在顯微鏡上而已。

以上的故事說明，光刻機的原理和制造并不難，它“卡脖子”的關(guān)鍵其實在于精度（誤差）——對光掩模和半導(dǎo)體基板的位置和姿態(tài)進行高精度的控制才能實現(xiàn)芯片設(shè)計、圖案重復(fù)的要求；才能減少誤差和重復(fù)，從而滿足制造成本和效率要求?！?/span>多層壓電驅(qū)動器”作為一種利用壓電材料產(chǎn)生的機械應(yīng)力來驅(qū)動某些系統(tǒng)的裝置，它能實現(xiàn)精確位移控制，是光刻機、套刻量測設(shè)備等集成電路裝備的關(guān)鍵元器件，對集成電路裝備的精度有著重要的影響。

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