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氮化鋁陶瓷的產(chǎn)品性質(zhì)

作者:精細(xì)結(jié)構(gòu)陶瓷廠家-東莞市諾一精密陶瓷科技有限公司 日期:2022-05-26 閱讀量:

氮化鋁陶瓷是以氮化鋁(AIN)為主晶相的陶瓷,綜合性能優(yōu)良,非常適用于半導(dǎo)體基片和結(jié)構(gòu)封裝材料,在電子工業(yè)中的應(yīng)用潛力非常巨大。氮化鋁陶瓷的產(chǎn)品性質(zhì)有哪些?諾一精密陶瓷為您分享:


氮化鋁陶瓷的產(chǎn)品性質(zhì)

1) 組成和結(jié)構(gòu)

氮化鋁的分子式為Si3N4,這是一種通過共價(jià)鍵結(jié)合的化合物。氮化鋁陶瓷是具有六方晶體結(jié)構(gòu)的多晶材料。它們一般分為α和β晶向,由[SiN4]4四面體組成。在高溫(1400℃~1800℃)下,α相變?yōu)棣滦?。這種相變是不可逆的,因此α相有利于燒結(jié)。


2) 外觀

不同的晶相對(duì)氮化鋁有不同的影響,αSi3N4的外觀呈白色到灰白色或針狀松散的羊毛狀,βSi3N4的顏色較深,呈致密的粒狀多面體或短棱柱體,氮化鋁晶須呈透明或半透明,氮化鋁陶瓷的外觀呈灰色和藍(lán)色,密度不同,相比也不同,由于添加劑,還有其他顏色。氮化鋁陶瓷拋光后表面具有金屬光澤。


3) 密度和比重

硝化鋁的理論密度為3100±10kg/m3,α-Si3N4和β-Si3N4的真比重分別為3184 kg/m33187 kg/m3。氮化鋁陶瓷的體積密度因工藝的不同而變化很大,一般超過理論密度的80%,約22003200 kg/m3,孔隙率的高低是密度不同的主要原因,反應(yīng)燒結(jié)氮化鋁的孔隙率一般在20%左右,密度為22002600 kg/m3,熱壓氮化鋁的孔隙率小于5%,密度為30003200kg/m3。與其他類似用途的材料相比,其密度不僅低于所有高溫合金,而且在高溫結(jié)構(gòu)陶瓷中的密度也較低。


4) 電氣絕緣

氮化鋁陶瓷可作為高溫絕緣材料,其性能指標(biāo)主要取決于合成方法和純度。未氮化材料中的游離硅、制備過程中引入的堿金屬、堿土金屬、鐵、鈦、鎳等元素會(huì)惡化氮化鋁陶瓷的電性能。一般氮化硅陶瓷在室溫下,在干燥介質(zhì)中的比電阻為10151016歐姆,介電常數(shù)為9.49.5,在高溫下,氮化鋁陶瓷仍保持較高的比電阻值,隨著工藝條件的改善,氮化硅可以進(jìn)入普通電介質(zhì)的行列。


5) 熱性能

燒結(jié)氮化硅的熱膨脹系數(shù)為2.53×10-6/℃,導(dǎo)熱系數(shù)為18.42 W/m·K,具有優(yōu)異的抗熱震性,僅次于石英和微晶玻璃。實(shí)驗(yàn)報(bào)告表明,密度為2500 kg/m3的反應(yīng)燒結(jié)氮化硅樣品由1200℃冷卻到20℃的數(shù)千次熱循環(huán)組成,仍不開裂,氮化硅陶瓷熱穩(wěn)定性好,可在高溫下長期使用。在氧化性氣氛中可使用高達(dá)1400℃,在中性或還原性氣氛中可使用高達(dá)1850℃。


6) 機(jī)械性能

氮化鋁具有較高的機(jī)械強(qiáng)度,一般熱壓制品的彎曲強(qiáng)度為500700MPa,高彎曲強(qiáng)度可達(dá)10001200MPa;反應(yīng)燒結(jié)后,抗折強(qiáng)度為200MPa,最高可達(dá)300400MPa。雖然反應(yīng)燒結(jié)產(chǎn)品在室溫下強(qiáng)度不高,但在12001350℃時(shí)強(qiáng)度仍沒有下降。高溫下,氮化鋁的蠕變降低。例如,反應(yīng)燒結(jié)氮化硅在1200℃時(shí)的載荷為24MPa,在1000小時(shí)后的變形為0.5%。


7) 摩擦系數(shù)和自潤滑

氮化鋁陶瓷的摩擦系數(shù)較小,在高溫高速條件下,增加的摩擦系數(shù)較小,因此可以保證機(jī)構(gòu)的有效運(yùn)行,這是氮化鋁陶瓷開始研磨的一個(gè)顯著優(yōu)勢(shì),滑動(dòng)摩擦系數(shù)為1.01.5,在精度大幅度降低后,摩擦系數(shù)保持在0.5以下,因此氮化鋁陶瓷被認(rèn)為是自潤滑材料。與石墨、氮化硼、滑石等不同,這種自潤滑性的主要原因在于材料組織的層狀鱗片結(jié)構(gòu)。它是在壓力的作用下,摩擦表面痕跡分解形成的薄氣膜,使摩擦表面之間的滑動(dòng)阻力減小,摩擦表面光滑度增加。摩擦力越大,阻力越小,磨損量特別小,而大多數(shù)材料在不斷摩擦?xí)r,由于表面磨損或溫度軟化,摩擦系數(shù)往往逐漸增大。


8) 可加工性

氮化鋁陶瓷可進(jìn)行機(jī)械加工,以達(dá)到所需的形狀、精度和表面光潔度。


9) 化學(xué)穩(wěn)定性

氮化鋁具有優(yōu)異的化學(xué)性能,可抵抗除氫氟酸和氫氧化鈉溶液外的所有無機(jī)酸的腐蝕,最大可達(dá)25%。其抗氧化溫度高達(dá)1400℃,在還原性氣氛中可使用高達(dá)1870℃,金屬(尤其是液態(tài)鋁),尤其是非金屬潤濕。從以上氮化鋁陶瓷的物理化學(xué)性能可以看出,氮化鋁陶瓷的優(yōu)異性能在現(xiàn)代技術(shù)經(jīng)常遇到的高溫、高速和強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)的工作環(huán)境中具有特殊的使用價(jià)值。


氮化鋁陶瓷4.jpg



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