半導(dǎo)體設(shè)備需要大量的精密陶瓷部件。由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點，可用作硅片拋光機、外延/氧化/擴散等熱處理設(shè)備、光刻機、沉積設(shè)備，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備，離子注入機等設(shè)備的零部件。半導(dǎo)體陶瓷有氧化鋁、氮化硅、氮化鋁、碳化硅等，在半導(dǎo)體設(shè)備中，精密陶瓷的價值約占16%左右。今天，諾一精密陶瓷為大家分享的是“碳化硅陶瓷在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用”。

碳化硅陶瓷(SiC)，碳化硅具有高導(dǎo)熱性、高溫機械強度、高剛度、低熱膨脹系數(shù)、良好的熱均勻性、耐腐蝕性、耐磨耗性等特性。碳化硅在高達(dá)1400℃的極端溫度下，其仍能保持良好的強度。采用碳化硅陶瓷的研磨盤由于硬度高而磨損小，且熱膨脹系數(shù)與硅晶片基本相同，因而可以高速研磨拋光。

在硅晶片生產(chǎn)時，需要經(jīng)過高溫?zé)崽幚?，常使用碳化硅夾具運輸，其耐熱、無損，可在表面涂敷類金剛石（DLC）等涂層，可增強性能，緩解晶片損壞，同時防止污染擴散。此外，碳化硅陶瓷還可應(yīng)用在XY平臺、基座、聚焦環(huán)、拋光板、晶圓夾盤、真空吸盤、搬運臂、爐管、晶舟、懸臂槳等。

顯然，在半導(dǎo)體設(shè)備制造中，先進(jìn)陶瓷作為關(guān)鍵部件材料，扮演了重要角色。我國半導(dǎo)體行業(yè)要想是實現(xiàn)高質(zhì)量的發(fā)展，就要先從精密陶瓷零部件方面，著手解決半導(dǎo)體制造設(shè)備的卡脖子問題，從根本上來推動我國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

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【工業(yè)陶瓷件加工定制廠家】認(rèn)準(zhǔn)諾一精密陶瓷，可提供氧化鋁陶瓷、碳化硅陶瓷、氮化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、陶瓷計量泵、陶瓷柱塞泵、陶瓷吸盤、陶瓷結(jié)構(gòu)件、工業(yè)陶瓷件、半導(dǎo)體陶瓷備件、半導(dǎo)體陶瓷材料等精密陶瓷研發(fā)生產(chǎn)加工定制，可按需加工各類精密陶瓷板，棒，閥，管，環(huán)，塊，片，針，軸，螺桿，噴嘴，托盤，吸盤，柱塞，微孔陶瓷等不同形狀、工藝的精密陶瓷制品，歡迎您的咨詢。